提供大气等离子清洗机、真空等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、微波等离子清洗机、等离子去胶机、接触角测量仪、USC干式超声波除尘、远程等离子源RPS等一站式服务设备
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全自动双腔设计，可兼容6-8英寸WAFER
可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸
温度可达1250℃，可测单晶片样品最大尺寸为6英寸
